Product laser
产品中心
激活深度≥7µm
单位小时产出＞25 @8"
优异的方阻均匀性和表面颜色
完整的全程监控反馈能力
支持超薄片、TAIKO片、翘曲片退火
具备激光辅助加热系统
| 设备型号 | DR-S-LA200S | DR-S-LA300S | DR-S-LA200D | DR-S-LA300D |
| 适用晶圆尺寸 | 6/8寸兼容 | 8/12寸兼容 | 6/8寸兼容 | 8/12寸兼容 |
| 激光能量密度 | ≥5J/cm² | ≥5J/cm² | ≥5J/cm² | ≥5J/cm² |
| 激光稳定性 | ≤ 2%，RMS | |||
| 激活率 | ≥95% @B Implant，≥90% @P Implant | |||
| 均匀性 | 片内：≤1%，片间：≤1%，@8"，RS | |||
| 洁净度控制 | ≤30 @ 0.5µm，≤5 @ 1µm | |||
| 自动传片系统 | 双晶圆装载口、多关节机器手、预准直器 | |||
